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旋片真空泵如何工作?



氣體進入吸氣腔,并立即被轉子的葉片壓縮。當轉子旋轉時,它將氣體分子推向泵室,并朝向排氣,然后被排放到大氣中。

葉片是彈簧加載的,這就是葉片在轉子和泵室殼體之間形成氣密密封的方式。相反,這些葉片和轉子殼體由專門配制的低蒸氣壓的油密封,該油用作旋片真空泵的密封劑,潤滑劑和冷卻劑。

有幾種驅動旋片真空泵轉子的驅動器。**個是直接驅動器,直接驅動器通過曲軸和聯(lián)軸器連接到旋轉動力源(大多數(shù)情況下是電動機)。第二種驅動類型是皮帶驅動泵,它通過皮帶輪和皮帶連接到旋轉動力源。

直接驅動式旋片泵通常在大約1750 RPM的溫度和70攝氏度的溫度下運行。使用減速皮帶輪(皮帶驅動)的泵以較低的RPM運行。皮帶驅動泵的工作溫度比直接驅動真空泵低10至20攝氏度。但是,每種泵類型的工作溫度在很大程度上取決于多個因素,例如轉速,真空泵油的粘度,油的質(zhì)量,真空泵的使用年限,被抽出的氣體的質(zhì)量。 ,以及真空泵的質(zhì)量和類型。

旋片式真空泵通常有兩種類型:單級或雙級,有時也稱為雙級。通過將第二轉子的進氣口連接到**轉子的排氣口來產(chǎn)生第二階段。兩級旋轉葉片泵的優(yōu)點是可以通過這種方式獲得較低的真空度和較高的體積流量。

與任何其他真空泵一樣,體積流量隨著真空系統(tǒng)或腔室內(nèi)部真空度的增加而減小。這是由于這樣的事實,真空室內(nèi)存在的空氣越少,從真空室或系統(tǒng)中去除其他氣體分子的難度就越大。但是,隨著jue對壓力的降低,兩級真空泵的泵性能變得更加明顯。在粗真空范圍內(nèi),抽速基本上相同,但是當jue對壓力超過1托時,兩級真空泵繼續(xù)保持其抽速,而單級真空泵開始下降。

從該圖可以明顯看出為什么單級真空泵優(yōu)于兩級真空泵,反之亦然。在惡劣的真空環(huán)境中,單級真空泵和兩級真空泵之間沒有區(qū)別,這意味著單級真空泵將以降低約30%至50%的成本提供相同的性能。另一方面,單級旋片真空泵的性能在1 Torr之后開始下降,而二級旋片真空泵成為顯而易見的選擇。

下圖顯示了帶有和不帶有氣鎮(zhèn)閥的單級和兩級旋轉葉片泵的抽速。

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